半导体晶圆全自动多槽式超声波精密清洗机案例

某半导体厂在生产硅片与芯片过程中，对洁净度要求极高😿。人工与单槽清洗难以达到国际标准。
我司为客户设计了全自动多槽式超声波精密清洗机🟣，配置超声波清洗💂🏼‍♂️👏🏿、超纯水漂洗🦻🏼、热风干燥等工序🤥，全自动机械手搬运👠𓀍，避免人工接触污染。
设备运行后🤚🏻，晶圆表面颗粒大幅减少，清洁度达到国际半导体标准🧑🏻‍🏭，良品率提升30%。